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集微网消息5月17日，据上交所表示，终止半导体设备厂商中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）发行上市审核。

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据资料显示，公司主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。干式真空泵是半导体制造工艺设备的核心附属设备，为集成电路、光伏、LED、平板显示、锂电池等行业的生产设备提供所必需的高度洁净真空环境。

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公司真空仪器设备产品主要包括大科学装置、真空薄膜仪器设备、新材料制备设备三大类。其中大科学装置指用于基础科学研究的国家重大科学工程的大型科研装置与设施；真空薄膜仪器设备主要包括用于科研的PVD、CVD设备；新材料制备设备主要包括晶体材料制备设备、真空冶金设备等。同时，公司为干式真空泵、真空仪器设备提供设备维修、保养等技术服务。

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公司技术服务业务主要是向集成电路及光伏产品制造企业、科研机构提供干式真空泵及真空仪器设备的维修、保养服务。为贴近客户、快速响应，公司在上海、武汉分别设立上海上凯仪、武汉上凯仪两家子公司，专业从事多种品牌、型号的干式真空泵维修、保养业务。

上海上凯仪、武汉上凯仪目前是台积电、中芯国际、长江存储、大连英特尔等集成电路制造企业的合格供应商。集成电路制造企业需要对其生产过程中使用的干式真空泵进行维修、保养时，直接与上海上凯仪、武汉上凯仪签署业务订单。上海上凯仪、武汉上凯仪接收客户设备，在完成维修、部件更换、测试等环节后将设备发还客户。（校对|Wenbiao）