运营商财经网 八卦叨/文

近日，有消息称，上海一家企业从海外购进了3台ASML二手光刻机，然后就有人称中国终于有了高端光刻机，真的如此吗？当然不是。

首先，光刻机有很多种，荷兰ASML公司虽然是全球最高端的光刻机生产企业，但其光刻机也是分多种型号，技术含量不一样，曝光率也不一样。ASML公司目前已经商用的主力机型之一是DUV光刻机，属于沉浸式光刻机，用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。但最先进的是极紫外（EUV）光源的新型光刻机，型号定为NXE系列。如果量产成功，将成为划时代的产品，有望将关键尺寸缩小至10nm以下，并且可以显著提高集成电路质量。

中国以往不是说买不到ASML的光刻机。其实，荷兰ASML光刻机厂商向我国销售了大量光刻机，但ASML目前还没有一台EUV光刻机流入大陆市场，而中国缺的是EUV光刻机。中芯国际曾经想花1.2亿美元，购买了一台EUV光刻机，可就是没交货。

所以，买3台旧的ASML公司光刻机是解决不了我们的缺口，因为买到的不是直接制造晶圆芯片的EUV光刻机。

（责任编辑：韩丽）

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