集微网消息，长期以来，半导体级高纯硫酸一直被巴斯夫等国际大厂垄断，国产半导体级硫酸的产量和品质难以满足日益增长的国内半导体市场需求，进口规模巨大。根据第三方数据显示，2019年中国半导体级硫酸需求量为11.73万吨，随着中国半导体集成电路行业的发展，未来需求量将持续增加。
如今，这一局面正在被一家七十年代发源于苏州中学的本土企业所打破。11月20日，苏州晶瑞化学股份有限公司（简称：晶瑞股份）举行年产9万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸一期项目落成典礼，一期3万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸项目即将正式通线投产，向半导体上游厂商全面供货。
晶瑞股份董事长吴天舒致辞
晶瑞股份董事长吴天舒表示，相信年产9万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸一期项目会快速通线，一期3万吨高纯硫酸项目建成之后，第二期、第三期也会快速完成投建，预计整个过程会比一期项目顺利很多。三期投建完成之后，晶瑞股份将会成为中国本土最大的半导体级高纯硫酸产能中心。
据了解，晶瑞股份9万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸项目之所以快速落成，是通过引进技术装备对子公司阳恒原基础化工产品工业用硫酸生产装置进行改造提升，并在日本合作伙伴三菱化学、丸红及森松等配合支持下，创新生产工艺，突破关键技术指标，形成目前自主知识产权高纯硫酸生产技术，实现了全球规模化生产SEMI最高规格G5等级半导体级高纯硫酸的能力。
吴天舒在落成典礼上也对日本合作伙伴表示感谢，他说到，晶瑞股份的成长离不开日本合作伙伴的帮助，25年前，晶瑞的光刻胶项目就跟日本合作伙伴建立非常好的友谊，现在晶瑞也已经成为国内半导体光刻胶最重要的公司之一；而半导体高纯硫酸项目同样得益于三菱化学、丸红及森松的支持，才能做到全球半导体级高纯硫酸G5最高等级的产品。
晶瑞股份执行董事李勍表示，超大规模集成电路用半导体高纯硫酸项目对晶瑞股份而言，具有极其重要的战略意义，这相当于再造一个晶瑞。项目的落成，意味着国产半导体级高纯硫酸产品跻身全球高纯化学品G5等级的最高水平，可以满足当前国内芯片制造最先进工艺制程的要求，打破了巴斯夫等国际巨头垄断，对于解决我国芯片制造关键材料卡脖子问题、保障半导体产业安全可控具有重大意义。
晶瑞股份大规模集成电路用半导体高纯硫酸一期项目现场
事实上，半导体级高纯硫酸是半导体工业常用的几大化学试剂之一，广泛用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和刻蚀，其中半导体级硫酸产品对纯度要求非常高，要想达到国际最高的G5等级绝非易事。而晶瑞股份通过并购与研发，不止在半导体级高纯度硫酸产品上达到G5等级，还在半导体级高纯度双氧水、高纯度氨水产品上同样达到G5等级，实现国产替代，这足以凸显公司在半导体超净高纯试剂方面的整体水平和竞争力。
据悉，在半导体超净高纯试剂方面，晶瑞股份双氧水、氨水早已达到全球第一梯队的技术品质，并在国内先进集成电路制造中实现大规模应用，向半导体头部公司、华虹宏力、方正半导体、武汉新芯、长江存储、合肥长鑫等国内主流半导体企业的供货或已通过其采购认证。
未来，在半导体超净高纯试剂方面，晶瑞股份的半导体级高纯硫酸可以借助其双氧水、氨水已经形成的供应体系和渠道，深耕细作快速开拓市场，将会带来不小的业绩支撑。这也正如晶瑞股份董事长吴天舒所说，高纯度硫酸、高纯度双氧水、高纯度氨水是半导体领域应用最广、量最大的三大超净高纯试剂，我们通过并购与研发等形式均已实现了最高等级的产品量产，这既增强了我们的核心竞争力，也将加速实现半导体超净高纯试剂的国产替代及产业安全持续性发展。 （校对/Candy）
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