CINNO Research产业资讯，仪器系统公司（Instrument Systems）宣布了一种用于Micro-LED晶圆测试的基于镜头的测量解决方案，该解决方案可以在给定的周期内生成像素级分辨率的二维光学分析。这款型号为LumiTop 4000产品的分辨率达到12MP，可以检测出晶圆上最小的缺陷和不均匀性。借助100毫米微距镜头，该系统自带的镜头可在单个测试站点对晶圆上所有的Micro-LED芯片进行快速的并行在线分析。

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据外媒Compound Semiconductor报道，Micro-LED是一种非常吸引人的新型显示技术。它的尺寸小于100微米，具有卓越的光学性能，可制造宽色域，高对比度和极高分辨率的显示器。不过这种显示器目前的生产还有很多问题亟待解决，比如批量生产中，这种产品对每个生产阶段（包括晶片级）所需的光学质量测试提出了新的挑战。另外，这一难题还不能通过标准测试（即顺序测试）的方式解决。

为了有效测试晶圆上数千个Micro-LED芯片，我们必须并行执行测试程序。因此，它要求制造商同时接触尽可能多的Micro-LED。另外，光学检查还需要快速准确，并与生产流程同步进行。

仪器系统公司的LumiTop系列2D镜头系统提供了这样一种快速的解决方案，该解决方案的有效性已在生产中得到确认。这种2D镜头系统需要与高端光谱辐射仪结合使用，该光谱仪同时用作参考测量仪器，这样可确保测量的精确性。LumiTop系列包括用于所有尺寸测试对象的特殊版本。其中，具有100 mm透镜的新型LumiTop 4000特别适合于Micro-LED晶圆的测试。其视场（FoV）约为1.0 x 1.4厘米，可以并行测量数千个Micro-LED，最小像素尺寸可达到30微米。该系统中，硬件触发器可以将镜头与给定的周期时间同步，镜头的CMOS传感器具有非常宽的动态范围。

该系统随附的LumiSuite综合软件可对测量数据进行广泛的分析，包括像素强度图或颜色图，另外算法可以根据可选标准搜索并标记像素缺陷。

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