集微网消息7月13日,精测电子接受机构调研,据机构问道:“简单介绍下上海 精测半导体技术有限公司在2021年7月13日设备出机的相关情况?”

对此,据精测电子回复表示,本次出机两款产品为独立式光学关键尺寸量测设备(OCD)及电子束缺陷复查设备(Review-SEM),客户为中芯国际。OCD设备除具有全自动光学膜厚测量能力外,还可以进行显影后检查(ADI)、刻蚀后检查(AEI)等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度(SWA)、高度/深度等关键尺寸(CD)特征或整体形貌测量,具有高速、准确和非破坏性等特点,是半导体前道检测的关键设备之一;Review-SEM 是先进的全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备,对光学缺陷检测设备的结果进行高辨率复查、分析和分类。

上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域,致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产,现已形成了膜厚/OCD 量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。上海精测膜厚产品(含独立式膜厚设备)已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD 量测设备已取得订单并已实现交付,半导体电子束检测设备 eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

据上海精测公众号表示,12寸独立式光学线宽测量机台(OCD)是该类型的国内首台机台,主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测,并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权,包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发,是真正意义上的高端国产化机台。

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配套EPROFILE 300FD, 上海精测还同时发布了新一代电磁场仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0;该款软件允许用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配,可以在获取复杂三维纳米结构光谱变化信息后,实时高速的对于纳米结构的各个维度精确值进行计算。

而12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)是上海精测半导体的另一项主力产品。公司从底层开发做起,扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等关键核心部件均为自主设计,自主知识产权,并用了近两年的时间打通了电子显微镜核心零部件加工的国产化供应链。

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此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法,将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。

据介绍,目前,中国半导体检测及量测专用设备行业仍然被国外龙头企业占据主导地位,市场集中度高,国内企业仍然处于弱势地位。现阶段,上海精测的竞争对手主要有科磊半导体、应用材料等。(校对/Wenbiao)

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拜登扩大海外投资委员会编制,意在封堵中国获得半导体技术

在过去的一些年当中,中国的一些公司一直使用给美国硅谷创业公司提供风险投资的方式来获得美国的技术。这条路看起来是走到头了,或者说越来越难走了。

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拜登政府继承了特朗普政府的遗志,进一步扩大了海外投资委员会的权限,功能,执法能力乃至编制。让这个部门的编制从2018年的12个人扩编到了现在的70个人,而且一些更懂行,更懂技术的专业人士进去了。

有美国专家就形容,说原来这是一个冷板凳的警长办公室,就在那虚着,其实没多少业务,现在成立一个非常重要的特警队到处抓人。

不仅是今后,这个海外投资委员会对过去的交易会进行回溯性的审查甚至惩罚。目前已经给几十个接受了中国风险投资的这种公司打电话了,要求接受调查。问他们你们究竟和中国进行了什么合作,给了中国什么技术机密?

而且他要求原来已经完成交易的两个半导体公司,剥离中国公司的股权。说到这个半导体公司,我也可以跟大家讲,就是美国的对中国的技术限制,技术禁运,主要是集中在半导体这个行业上面,可见半导体行业的重要性了。

美国也讲了要想完全阻止中国半导体的进展,那是不可能的,美国人明白这道理,他要尽量的延缓,就让你这速度慢,尽量的延缓你赶上美国的这个步伐,让把时间拖得长一些。

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中国对于美国硅谷初创企业的风险投资是十几年前兴起的,时间不是很长。因为咱们以前没有钱,后来才有的钱。在2009年,有个做省委副书记的朋友请我和其他几个人吃饭。吃饭的时候,他说这后来去美国的感觉,跟原来去美国的感觉是完全不一样。原来去美国,就他省委副书记这样的人都是处求爷爷告奶奶,请人来咱们这投资。然后他说这几年的是大不一样了。他说的这几年指的是2009年的时候。他说我们这一去,美国那些公司,一大堆一大堆的上来,求我们给他们投点资。中国有钱了,技术还差点,但是有钱了,美国相比下反而穷了,他缺投资了,他那个技术发展,特别是那些初创公司,就刚刚创业那些公司,想技术发展,非常需要中国资金投入。

其实这种中国有钱缺技术,美国有技术缺钱,这种状况实际上一直延续到现在。去年应该是中国风投硅谷创业企业数量最多的一年,一共308家。虽然数量很高,但是金额已经收紧了,美国开始限制咱们了。从现在来看,这个门关的更紧了。而且不光是美国对咱们关门,日本也是,日本现在新出台了一个法律,就是你任何公司接受外国的这种投资只要超过1%。你就必须事先申报,过去是10%,那就严多了,还有澳大利亚也跟上凑热闹,他现在规定凡是投资于矿业和房地产业的这种外国项目,你必须事先申报。

本来美国一些年轻人,就有技术专长,但是没钱,美国投资者没那么多钱给他投,咱们中国投资者给投,技术发展起来了,对全世界都有好处,现在美国说不行,这个有可能妨碍我们国家安全,不准干。中国投不了了,是不是就美国人就给他投了?肯定不会是这样。要能这样的话,美国人早给投了,他也不找中国人了。

从咱们中国来说,你想学这些技术学不了了,不容易了,延缓了咱们的技术的发展。肯定会有这方面效应,但从另一方面来说的话,也是逼着咱们不得不自己去干,自己去研究,过去咱们走捷径,有些东西咱不往实了研究,咱们花点钱从美国去买。

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现在你也别想别的了,你踏踏实实自己搞吧。所以这未尝不是一件好事,坏事变好事,中国总是会走到这一步的,早晚而已,美国人总是会认识到这一步的,也是早晚而已。就像小孩迟早会长大,长大后好多事你就得自己干。这科技你就得自己研究,人家不给你了,人家警惕你了,人家封锁你了,你就得自己研究,自己把它拿下。从整个基盘做起,一点点上升把他拿下,成为咱自己的技术,别人也永远卡不了咱们。

现在这一步已经到了,到的好像有点早,那怎么办呢?早就早呗,咱们得扛着,是不是啊?没办法,那你不扛咋办呢?我相信以我们中国人民的这个智商,这个勤劳,是能够抗得过去的。而他们,这样做自缚自己的手脚,他们会衰败下去。胜利是我们的!